Verifire? ATZ激光干涉儀

Ring of Fire?點(diǎn)光源是Verifire? AT激光干涉儀獲取清潔圖像的基礎(chǔ)，傳統(tǒng)的激光干涉儀用的是相干點(diǎn)光源，在測試腔中形成相干光。但是，點(diǎn)光源在光路中遇到細(xì)小顆粒時(shí)同時(shí)也會產(chǎn)生寄生的干涉條紋（牛眼環(huán)）。獨(dú)特的Ring of Fire?光源系統(tǒng)是只對光學(xué)腔產(chǎn)生干涉，而將干涉腔外的細(xì)小顆粒產(chǎn)生的干涉條紋遏制，整個干涉儀的性能得到增強(qiáng)，所測量的性能得到增強(qiáng)，所測量的結(jié)果更令人信服。

高精度的光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)需要高性能的測量技術(shù)和方法，不僅需要具備高速操作簡單和長期穩(wěn)定的檢測設(shè)備和方法，同時(shí)更需要更高精度產(chǎn)品檢測的需求。ZYGO Verifire?激光干涉儀做開創(chuàng)的Ring of Fire?光源技術(shù)，消除了長期困擾的“牛眼環(huán)”所帶來的測量上的影響，將測量精度提高到一個新的臺階，同時(shí)配備ZYGO自主開發(fā)的Metropro軟件，以及與傳統(tǒng)激光干涉儀互配的各種附件，真正使Verifire?激光干涉儀在高速、簡易和穩(wěn)定基礎(chǔ)上達(dá)到新的高度?？梢哉f，ZYGO Verifire?激光干涉儀不僅是新一代的激光干涉儀，更是一次新的干涉測量技術(shù)的ge命。